四探針電阻率測(cè)試儀也有很多種，例如高溫的或者常溫的，不同的四探針電阻率測(cè)試儀針對(duì)不同的材料測(cè)量的參數(shù)也是不同的。舉例，高溫四探針電阻率測(cè)試儀可以測(cè)量硅、鍺單晶電阻率和硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃和其他導(dǎo)電薄膜的方塊電阻，主要用于評(píng)估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能，高溫四探針電阻率測(cè)試儀就是，主要測(cè)量的參數(shù)就是半導(dǎo)體材料的電阻、電阻率、方塊電阻等。

本儀器本儀器采用四探針雙電測(cè)量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)。

采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便;選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

雙電測(cè)數(shù)字四探針電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-5～2×105Ω/□

2.電阻率范圍：10-5～2×106Ω-cm

3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)

10.選購(gòu)功能: 選購(gòu)1.pc軟件;選購(gòu)2.方形探頭; 選購(gòu)3.直線形探頭; 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)

11.測(cè)試探頭： 探針間距選購(gòu)：1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu)：碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針

儀器具有測(cè)量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀 電阻、電阻率、電導(dǎo)率測(cè)量

采用四端測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，實(shí)驗(yàn)室；是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具。可配置不同測(cè)量裝置測(cè)試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)量程，自動(dòng)測(cè)量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過(guò)程數(shù)據(jù)處理和標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡(jiǎn)單，中文或英文兩種語(yǔ)言界面選擇.

四端測(cè)試法是目前較*之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

四探針電阻測(cè)試儀由主機(jī)、選配的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)等三部分組成。

主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動(dòng)/手動(dòng)量程可選；電阻率、方阻、電阻測(cè)試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤(pán)輸入，簡(jiǎn)便可靠；具有零位、滿度自校功能；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。